现在很多大学实验室、研究院都在采用气相沉积炉,与其他沉积方法相比,气相沉积炉除了具有设备操作简单、维护方便、灵活性强外,还具有以下一系列的优点:(1)在中温和高温下,气相沉积炉通过
气相沉积炉是利用中频感应加热的高温烧结设备,气相沉积炉CVD是Chemical Vapor Deposition的简称,是指高温下的气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物
气相沉积炉是利用中频感应加热的高温烧结设备,气相沉积炉CVD是Chemical Vapor Deposition的简称,是指高温下的气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物
气相沉积炉使用等温或热梯度工艺实现致密化。将待处理的物体放置在相应的腔室中,并下沉放入高温炉的热区。在盖子被下放进入炉中并密封之前,所有的气体、水和电气和工艺仪器应连接到位。接下来
气相沉积炉是一种关键的生产工具,用于制备C/C复合材料和C/SiC复合材料的预制体。其工作原理基于热化学反应,涉及高温、高压和气体反应。以下是气相沉积炉的基本原理:1. 原料预处理